Kapasitif basınç sensörü, ölçülen basıncı bir kapasitans değeri değişikliğine dönüştürmek için kapasitansı hassas bir eleman olarak kullanan bir tür basınç sensörüdür.Bu tür bir basınç sensörü, genellikle kapasitörün elektrotu olarak yuvarlak bir metal film veya altın kaplama film kullanır, film basıncı hissettiğinde ve deforme olduğunda, film ile sabit elektrot arasında oluşan kapasitans değişir ve elektrik sinyali olabilir. ölçüm devresi üzerinden voltaj arasında belirli bir ilişki ile çıktı.
Kapasitif basınç sensörü, tekli kapasitif basınç sensörüne ve diferansiyel kapasitif basınç sensörüne bölünebilen kutupsal mesafe değişimi kapasitif sensörüne aittir.
Tek kapasitif basınç sensörü, dairesel bir film ve sabit bir elektrottan oluşur.Film, basıncın etkisi altında deforme olur, böylece kapasitörün kapasitesini değiştirir ve hassasiyeti kabaca filmin alanı ve basıncı ile orantılıdır ve filmin gerilimi ve filmden sabit elektrota olan mesafe ile ters orantılıdır. .Diğer tip sabit elektrot, içbükey küre şeklindedir ve diyafram, çevre etrafına sabitlenmiş bir germe düzlemidir.Diyafram, plastik altın kaplama yöntemiyle yapılabilir.Bu tip, düşük basınç ölçümü için uygundur ve yüksek aşırı yük kapasitesine sahiptir.Tek bir kapasitif basınç sensörü, yüksek basıncı ölçmek için piston hareketli kutbu olan bir diyaframdan da yapılabilir.Bu tip, diyaframın doğrudan sıkıştırma alanını azaltır, böylece hassasiyeti artırmak için daha ince bir diyafram kullanılabilir.Parazit önleme özelliğini geliştirmek için çeşitli kompanzasyon ve koruma bölümleri ve amplifikasyon devreleri ile entegre edilmiştir.Bu sensör, uçağın dinamik yüksek basınç ölçümü ve telemetrisi için uygundur.Tek kapasitif basınç sensörleri, mikrofon tipi (yani mikrofon tipi) ve stetoskop tipinde de mevcuttur.
Diferansiyel kapasitif basınç sensörünün basınç diyafram elektrodu, iki kondansatör oluşturmak için iki sabit elektrot arasına yerleştirilmiştir.Basıncın etkisi altında, bir kondansatörün kapasitesi buna göre artarken diğeri azalır ve ölçüm sonucu bir diferansiyel devre tarafından verilir.Sabit elektrodu, içbükey kavisli bir cam yüzey üzerinde altın kaplama bir katmandan yapılmıştır.Diyafram, aşırı yük sırasında içbükey yüzey tarafından kırılmaya karşı korunur.Diferansiyel kapasitif basınç sensörleri, tek kapasitif basınç sensörlerine göre daha yüksek hassasiyete ve daha iyi doğrusallığa sahiptir, ancak bunların işlenmesi (özellikle simetriyi sağlamak için) daha zordur ve ölçülecek gaz veya sıvının izolasyonunu sağlayamazlar, bu nedenle uygun değildirler. aşındırıcı veya safsızlık içeren sıvılarda çalışmak için.
Gönderim zamanı: 19 Haziran 2023